[18p-P9-1~10] 13.3 絶縁膜技術

▼ [18p-P9-1] Characterization of Interface Traps in Au/Al₂O₃/GeO_x/Ge MOS Structures

^○林汝靜¹，張睿^1,2，田岡紀之³，竹中充¹，高木信一¹ (東大¹，南京大²，名大³)

キーワード：Interface Traps