[19a-C1-1~11] 8.2 プラズマ診断･計測

△ [19a-C1-4] プラズマエッチング装置におけるパーティクルの突発的多量発生

^○笠嶋悠司，鍋岡奈津子，本村大成，上杉文彦 (産総研)

キーワード：パーティクル,プラズマエッチング