[19a-C10-1~9] 13.4 配線技術

[19a-C10-7] ビアラスト法を用いて形成したTSV の電気特性

^○武田健一^1,2，青木真由^1,2，朴澤一幸^1,2，三橋敏郎²，菊地秀和²，柳澤あずさ² (日立中研¹，ASET²)

キーワード：TSV