09:30 〜 11:30
△ [19a-P5-3] 自己整合メタルダブルゲート Ni-SPC 低温 poly-Si TFT
キーワード：Thin-Film Transistors,Polycrystalline Silicon,Metal Induced Crystallization
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.5 Siプロセス技術
[19a-P5-1~14] 13.5 Siプロセス技術
2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P5 (デイヴィス記念館 )