[19a-P5-1~14] 13.5 Siプロセス技術

[19a-P5-6] DLB-CLC poly-Si結晶化におけるレーザ照射オーバラップの効果

^○山野真幸¹，黒木伸一郎¹，佐藤旦¹，秦信宏²，小谷光司³，吉川公麿¹ (広島大ナノデバイス¹，産総研²，東北大院³)

キーワード：TFT,poly-Si,結晶化