[19a-P7-1~14] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-P7-2] n型GaN電気的特性劣化におけるプラズマ照射条件の影響

^○本郷直樹，瀧本拓真，中村成志，奥村次徳 (首都大理工)

キーワード：GaN