2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-P7-1~14] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P7 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[19a-P7-5] Si基板上(111)における歪超格子を用いたGaN層の歪制御

小田龍平 (名工大)

キーワード:GsN,歪超格子