2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-P7-1~14] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P7 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[19a-P7-7] フィールドプレートを有するイオン注入GaN-HEMT

青柳拓也,岡田裕太郎,中村徹 (法政大理工)

キーワード:半導体,窒化ガリウム,HEMT