[19a-P9-1~10] 15.6 IV族系化合物

[19a-P9-9] 部分的アモルファス化によるn+ 4H-SiC上のNiシリサイド・オーミック抵抗のTLMパターン依存性

^○（M1）デシルワ ミランタ，黒木伸一郎，佐藤旦，吉川公麿 (広島大)

キーワード：SiC,オーミック