[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-2] 大気圧マイクロ熱プラズマジェット結晶化を用いた微細薄膜トランジスタの特性評価

^○森崎誠司，林将平，上倉敬弘，山本将悟，赤澤宗樹，酒池耕平，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：TFT,熱プラズマジェット,CMOS