[19p-B4-1~21] 13.5 Siプロセス技術

[19p-B4-3] ガラス基板上a-Si膜の熱プラズマジェット結晶化における中間緩衝層によるクラック抑制メカニズムの調査

^○田中敬介，林将平，上倉敬弘，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：クラック,ガラス基板,急速熱処理