[19p-B5-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [19p-B5-11] サファイア上AlN成長におけるN₂-COアニールによるAlN緩衝層制御

^○（M2）西尾剛¹，三宅秀人¹，平松和政¹，福山博之² (三重大院工¹，東北大多元研²)

キーワード：MOVPE,AlN,Annealing