[19p-B5-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [19p-B5-8] MOVPE法によるAlInNの高速成長

^○小塚祐吾¹，安田俊輝¹，鈴木智行¹，竹内哲也¹，上山智¹，岩谷素顕¹，赤﨑勇^1,2 (名城大院理工¹，名大・赤﨑記念研究センター²)

キーワード：AlInN,高速成長