[19p-C8-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[19p-C8-14] 単層MoS₂チャネルを用いたn-MOSFETの性能見積り

^○大橋匠¹，若林整²，角嶋邦之²，杉井信之²，西山彰²，片岡好則²，名取研二³，筒井一生²，岩井洋³ (東工大工学部¹，東工大総理工²，東工大フロンティア研³)

キーワード：MoS2,単層,MOSFET