[19p-C9-1~7] 13.7 シミュレーション

[19p-C9-4] Tunnel FETの離散不純物バラツキに関する検討

^○福田浩一，森貴洋，水林亘，森田行則，田邊顕人，昌原明植，安田哲二，右田真司，太田裕之 (産総研 GNC)

キーワード：tunnel FET,discrete dopant,simulation