[19p-D7-1~17] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [19p-D7-8] GaN上に形成したAuめっき配線に対する下地電極の影響

^○前田和弘，西沢弘一郎，志賀俊彦，竹見政義 (三菱電機)

キーワード：めっき,GaN,Au