[20a-C8-1~12] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[20a-C8-10] 熱特性モデル化による回路中のFinFET動作温度評価手法

^○（P）高橋綱己¹，小田俊理²，内田建¹ (慶大理工¹，東工大量子ナノ研セ²)

キーワード：FinFET,自己加熱効果,熱特性モデル化