[20a-C9-1~12] 13.1 基礎物性・評価

[20a-C9-11] シリコン表面の酸化膜密度とエッチングレートの相関性評価

^○土井修平，蓮沼隆，山部紀久夫 (筑波大)

キーワード：酸化膜密度,酸化機構