[20a-C9-1~12] 13.1 基礎物性・評価

[20a-C9-8] 多結晶Siの弾性的性質～古典分子動力学シミュレーション～

^○高橋憲彦¹，金田千穂子¹，中西鉄雄² (富士通研¹，信越化学工業²)

キーワード：分子動力学法,弾性的性質,多結晶Si