講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性

[20a-D6-1~11] 14.1 探索的材料物性

2013年9月20日(金) 09:00 〜 12:00 D6 (MK 3F-301)

11:00 〜 11:15

[20a-D6-8] BaSi₂エピタキシャル膜におけるV族不純物(Sb,As)の拡散係数評価

^○章寧¹，中村航太郎¹，馬場正和¹，Weijie Du¹，小池信太郎¹，高部涼太¹，都甲薫¹，末益崇^1,2 (筑波大¹，CREST-JST²)

キーワード：拡散係数