[20p-D7-1~8] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20p-D7-2] AlGaN/GaN上のTiSi₂電極によるコンタクトの温度依存性

^○譚錫昊¹，岡本真里¹，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，齋藤渉³，岩井洋¹，名取研二¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²，東芝セミコンダクター&ストレージ社³)

キーワード：AlGaN/GaN コンタクト 低温