[27p-A6-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[27p-A6-14] △金属とp型ダイヤモンドの接触抵抗の(111)面と(100)面の比較 (5:30 PM ～ 5:45 PM)

^○白田和也^1,3,4，松本翼^1,2,4，小倉政彦^1,4，加藤宙光^1,4，牧野俊晴^1,4，竹内大輔^1,4，大串秀世^1,4，山崎聡^1,2,4 (産総研¹，筑波大²，明大³，CREST⁴)

キーワード：diamond p-type contact