[28a-G2-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[28a-G2-9] 低温度作製したアナターゼ型TiO2膜の電気特性 (12:15 PM ～ 12:30 AM)

木村将之¹，^○生田目俊秀²，山田博之¹，大井暁彦²，成島利弘²，知京豊裕²，大石知司¹ (芝浦工大¹，物材機構²)

キーワード：TiO2、アナターゼ、フラットバンド電圧