2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 絶縁膜技術

[28p-G2-1~16] 13.3 絶縁膜技術

2013年3月28日(木) 14:30 〜 18:45 G2 (B5号館 1F-2102)

[28p-G2-13] ▲Ge p- and n-MOSFETの高電界領域での移動度劣化機構の解析 (5:45 PM ~ 6:00 PM)

○(P)張睿,黄博勤,林汝静,竹中充,高木信一 (東大院工)

キーワード:germanium, mobility, interface states