[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[28p-G9-4] △自己組織化静電仮接合を用いたC2W三次元集積化技術 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○（M2）橋口日出登¹，福島誉史²，裵志哲²，Murugesan Mariappan²，木野久志¹，李康旭²，田中徹^{1, 3}，小柳光正² (東北大院工¹，東北大未来研²，東北大院医工³)

キーワード：三次元集積化技術