[29p-A3-1~6] 16.2 プロセス技術・デバイス

[29p-A3-3] フラッシュランプアニールによるa-Ge膜の結晶化 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○大平圭介^1,2，松村英樹¹ (北陸先端大¹，JSTさきがけ²)

キーワード：フラッシュランプアニール、多結晶ゲルマニウム、結晶化