[29p-A3-1~6] 16.2 プロセス技術・デバイス

[29p-A3-5] スリットコート法を用いたa-Si:H薄膜の作製 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○高岸秀行^1,3，松木安生^2,4，増田貴史^1,4，申仲栄^1,3，Lam Pham Tien^1,3，大平圭介^1,3，下田達也^1,3,4 (北陸先端大¹，JSR²，JST ALCA³，JST ERATO⁴)

キーワード：アモルファスシリコン薄膜、スリットコート法、液体シリコン材料