[29p-PB1-16] マイクロ波生成原子状酸素を酸化剤として用いたALD法によるGe基板上へのAlジャーマネイト薄膜の自発的形成 (1:30 PM ~ 3:30 PM)
キーワード:germanium、aluminum-germanate、interlayer
一般セッション(ポスター講演)
13.半導体A(シリコン) » 13.3 絶縁膜技術
2013年3月29日(金) 13:30 〜 15:30 PB1 (第二体育館)
キーワード:germanium、aluminum-germanate、interlayer