[29p-PB1-1~20] 13.3 絶縁膜技術

[29p-PB1-16] マイクロ波生成原子状酸素を酸化剤として用いたＡＬＤ法によるＧｅ基板上へのＡｌジャーマネイト薄膜の自発的形成 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

梁池昴生¹，花田毅広¹，石崎博基¹，王谷洋平¹，山本千綾²，山中淳二²，佐藤哲也²，岡本浩³，^○福田幸夫¹ (諏訪東京理科大¹，山梨大²，弘前大³)

キーワード：germanium、aluminum-germanate、interlayer