[29p-PB1-1~20] 13.3 絶縁膜技術

[29p-PB1-4] シリコーンオイル酸化Si薄膜膜質へのアニールガスの加湿効果 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○辻埜太一，堀田將 (北陸先端大)

キーワード：酸化Si薄膜