[29p-PB1-1~20] 13.3 絶縁膜技術

[29p-PB1-6] SiO2及びGeO2結晶とアモルファスの機械的性質に関する第一原理解析 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（M1）細川貴弘¹，末岡浩治¹，荒木浩司²，泉妻宏治² (岡山県立大¹，グローバルウェーハ社²)

キーワード：絶縁膜、機械的性質、第一原理計算