15:00 〜 15:15
[17p-A17-5] SiCでもできたゲート酸化膜の信頼性向上
キーワード：SiC,Gate Oxide,Reliability
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物
[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物
2014年9月17日(水) 14:00 〜 18:00 A17 (E308)
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物
2014年9月17日(水) 14:00 〜 18:00 A17 (E308)
15:00 〜 15:15
キーワード：SiC,Gate Oxide,Reliability