2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月18日(木) 14:00 〜 17:45 A19 (E311)

14:15 〜 14:30

[18p-A19-2] 高機能非冷却赤外線センサの高性能化I:3次元プラズモニックメタマテリアル吸収体の基礎検討

小川新平1,藤澤大介1,秦久敏1,植月満治1,三崎浩司1,木股雅章2 (三菱電機1,立命館大2)

キーワード:赤外線センサ,plasmonics,metamaterial