[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-2] 高機能非冷却赤外線センサの高性能化I:3次元プラズモニックメタマテリアル吸収体の基礎検討

^○小川新平¹，藤澤大介¹，秦久敏¹，植月満治¹，三崎浩司¹，木股雅章² (三菱電機¹，立命館大²)

キーワード：赤外線センサ,plasmonics,metamaterial