[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-3] 高機能非冷却赤外線センサの高性能化Ⅱ:3次元プラズモニックメタマテリアル吸収体の光学特性

^○藤澤大介¹，小川新平¹，秦久敏¹，植月満治¹，三崎浩司¹，木股雅章² (三菱電機¹，立命館大²)

キーワード：赤外線センサ,Plasmonics,Metamaterial