[19p-A10-1~22] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-A10-20] TiN導電層上へのVO₂薄膜の成長と積層方向への相転移特性

^○シュルズ モハメッド，沖村邦雄 (東海大院理工)

キーワード：二酸化バナジウム,導電層,積層方向転移特性