[17p-E15-1~15] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

△ [17p-E15-8] バイオテンプレート極限加工による高密度GaAsナノディスクの作製プロセスの最適化

^○田村洋典^1,5，肥後昭男²，セドリックトーマス^1,5，吉川憲一¹，岡田健¹，王云鵬³，杉山正和⁴，中野義昭⁴，寒川誠二^1,2,5 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²，東大先端研³，東大院工⁴，JST-CREST⁵)

キーワード：量子ドット