[17p-E4-1~17] 3.4 計測光学

[17p-E4-16] 超短パルスファイバレーザを用いたピコ秒超音波計測による金属薄膜測定技術の開発

^○中尾敏之¹，渡辺正浩¹，手塚秀和²，笹澤秀明²，吉武康裕²，荻博次³ (日立製作所¹，日立ハイテクノロジーズ²，阪大³)

キーワード：超音波