[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17p-F1-13] SiH₄/H₂系プラズマ中の非発光H原子の重要性

^○片山博貴，吉田功，矢田茂郎，寺川朗 (パナソニック)

キーワード：水素ラジカル,プラズマシミュレーション,薄膜Si