17:45 〜 18:00
[17p-F1-15] 原子層堆積を目的としたグラフェンのプラズマ修飾
キーワード：Graphene,原子層堆積,プラズマ修飾
講演情報
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理
[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F1 (F201)
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F1 (F201)
17:45 〜 18:00
キーワード：Graphene,原子層堆積,プラズマ修飾