[17p-F4-1~13] 7.6 イオンビーム一般

[17p-F4-6] ガスクラスターイオンビームによるRu薄膜の平坦化（Ｉ）

^○（M2）山口明良¹，稲葉賢二³，日野浦諒¹，豊田紀章¹，原謙一²，畠山望³，宮本明³，山田公¹ (兵県大院工¹，東京エレクトロン²，東北大未来科学技術共同研究センター³)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム,Ru平坦化,分子動力学シミュレーション