2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-1~30] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年3月17日(月) 16:00 〜 18:00 PG3 (G棟2階)

16:00 〜 18:00

[17p-PG3-25] ウェットプロセスを用いた酸化物半導体薄膜のガスセンサ応用

○(M2)景山豪1,吉岡秀樹2,山本伸一1 (龍谷大院理工1,兵庫工技セ2)

キーワード:SnO2,有機金属塗布熱分解法,ガスセンサ