2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18a-E10-1~10] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年3月18日(火) 09:00 〜 11:45 E10 (E204)

10:00 〜 10:15

[18a-E10-5] X線光電子分光法によるZnO透明導電膜の極性評価

牧野久雄,宋華平,野本淳一,山本哲也 (高知工科大総研)

キーワード:ZnO,酸化亜鉛