2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15．結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:00 E13 (E301)

10:00 〜 10:15

[18a-E13-5] COガスを用いたSi表面炭化における基板前処理の影響

○出浦桃子1，米永一郎1，福山博之2 (東北大金研1，東北大多元研2)

キーワード：炭化,シリコン,前処理