2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[18a-F6-1~12] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:15 F6 (F306)

11:15 〜 11:30

[18a-F6-9] 横方向液相エピタキシャル成長法によりY2O3層上に形成した局所GOI層の電気特性評価

梶村恵子,松江将博,細井卓治,志村孝功,渡部平司 (阪大院工)

キーワード:LLPE,GOI