[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-12] 酸化物半導体前駆体のインク化とマイクロ波焼成プロセスの開発

^○鄭恵貞¹，小倉晋太郎¹，酒井平祐¹，竹内和彦²，長畑律子²，植村聖¹，福田伸子¹ (産総研,フレキシブル¹，産総研,ナノシステム²)

キーワード：InGaZnO TFT, Microwave heating