2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-1~20] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:30 E10 (E204)

16:30 〜 16:45

[18p-E10-13] Photoinduced Transient Spectroscopy 法を用いたIGZO薄膜トランジスタの電子状態評価

田尾博昭,高梨泰幸,森田晋也,日野綾,後藤裕史,林和志,釘宮敏洋 (神戸製鋼所)

キーワード:PITS,IGZO,酸化物半導体