16:45 〜 17:00
△ [18p-E10-14] A-IGZO TFTにおけるチャネル保護層成膜に伴う水素の拡散と欠陥パッシベーション効果
キーワード：IGZO,TFT
講演情報
一般セッション(口頭講演)
合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス
[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス
2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:30 E10 (E204)