[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-3] アモルファスIn-Ga-Zn-Oの不純物水素によるバンドギャップワイドニングと構造緩和挙動

^○石川恭兵¹，羽生有一郎¹，平松秀典^1,2，雲見日出也²，細野秀雄^1,2,3，神谷利夫^1,2 (東工大 応セラ研¹，東工大 元素戦略研²，東工大 フロンティア研³)

キーワード：バンドギャップワイドニング,構造緩和,アモルファス