[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-4] スパッタ環境の違いによる酸化物半導体の膜質評価

^○高梨泰幸，田尾博昭，越智元隆，後藤裕史，釘宮敏洋 (神戸製鋼所)

キーワード：IGZO,μ-PCD,TFT