2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-1~20] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:30 E10 (E204)

14:15 〜 14:30

[18p-E10-5] InGaZnOの構造評価Ⅰ:TEM試料加工・観察時の影響

山崎亨,舩木雅之,阿久津恵子 (材料科学技術振興財団)

キーワード:InGaZnO,構造解析,TEM