[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-5] InGaZnOの構造評価Ⅰ：TEM試料加工・観察時の影響

^○山崎亨，舩木雅之，阿久津恵子 (材料科学技術振興財団)

キーワード：InGaZnO,構造解析,TEM